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                                              凈化工程中凈化空調的改造與設計方法

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                                              潔凈知識
                                              電子車間凈化工程中凈化空調的改造與設計方法
                                              Beyond ldeas Design without Frontiers:
                                              電子車間凈化工程中凈化空調的改造與設計方法

                                              摘要:  本文在天津某電子廠房原有的凈化空調工程基礎上,對工藝布置和凈化空調系統提出改造方案,并對方案設計進行了簡單的介紹.

                                                關鍵詞:  凈化空調  改造設計

                                                作者:天津城市建設學院環境工程公司  范衛軍  蘇久榮

                                                天津城市建設學院熱能工程系    郭春梅  李巖

                                                1  原有凈化工程空調工程情況

                                                1.1  簡況

                                                該廠房位于天津市開發區,建于1995年,主要生產半導體芯片。廠房共建三層,需改造項目位于二層,系統的平面布置如圖1所示。系統總面積1510m2,  其中空調面積385m2,凈化面積1125m2,凈化級別除黃光室為千級外,其余均為萬級。

                                                1.2  系統存在的主要問題

                                                (1)廠房內只對千級間黃光室設圍護結構,

                                                其余房間均為敞開式,凈化區域與非凈化區混合在一起,系統較為混亂,難以控制和調節,凈化區域的潔凈度不能達到要求;

                                                (2)非凈化區域的擴散爐,經測定表面溫度可達50℃,散熱量非常大,在原有設計中存在空調送風量不足問題,造成擴散爐周圍區域的溫度高達37℃,并且回風循環使用,不利于節能;

                                                    (3)酸洗槽的排風量不足,平均斷面風速為0.1m/s,酸性物質存留在室內環境中,不能有效地排出,嚴重影響室內的衛生和生產環境;

                                                (4)在廠房潔凈室(區)入口處的風淋室風速為12m/s的要求,需要更換循環風機。

                                                2  改造方案

                                                針對系統運行中出現的的以上情況,經與甲方協商,提出了改造方案。

                                                2.1  工藝布置改造方案

                                                2.2  凈化空調系統改造方案 
                                                  

                                                3  改造后的使用效果

                                                系統改造后經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求,在動態下檢測,廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。凈化工程

                                                4  結論

                                                本工程改造前主要特點表現在系統工藝布置不合理(未對凈化區及非凈化區時行明確劃分)、混用凈化及非凈化區空調系統,不符合“規范”的要求;酸洗槽排風量不足;護散爐區因送風少及未設局排設施導致環境溫度超標;改造后將生產工藝布局做了適當調整,按照規范的要求,對凈化區及非凈化區單獨設置空調系統;加大酸洗槽排風量,同時采用了熱排風回收裝置,對補充新風進行預熱(預冷),節約能源,降低運行費用。建議在今后的空調工程設計中,對于生產環境有要求的工藝,既應該按照生產過程布置工藝,同時還要考慮到有利于空調凈化系統的調節和控制,保證生產環境的可靠性。凈化工程


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